日時：2025年 8⽉ 18⽇（月） 15：00 〜 16：00
講師：霜垣 幸浩 教授
（東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻）
場所：北海道大学 工学部 アカデミックラウンジ３
主催：北海道大学大学院工学研究院 フロンティア化学教育研究センター
共催：北海道大学半導体フロンティア教育研究機構
連絡先：北海道大学大学院工学研究院 応用化学部門 幅﨑 浩樹（内線：6575）
高性能・高信頼性ULSI多層配線形成用原子層プロセスの開発
- 2025年7月25日
- シンポジウム・セミナー